Натекание в вакуумную камеру что это
Перейти к содержимому

Натекание в вакуумную камеру что это

  • автор:

Натекание в вакуумную камеру что это

Общие сведения по течеисканию
Во вновь собранной вакуумной установке, как правило, не удается получить необходимое разрежение. При этом возникает задача найти причину неисправной работы вакуумной системы и устранить ее. Существуют три причины, затрудняющие или делающие невозможным получение вакуума, на который рассчитана установка:
а) неисправность насоса;
б) газовыделение в систему;
в) натекание в систему атмосферного воздуха.
Для того чтобы определить, какая из этих причин является основной, следует изолировать откачиваемую систему от насоса. Измерив давление P1 в системе в момент отделения системы от насоса и давления P2, P3, P4 и т.д. через различные промежутки времени, нужно построить график зависимости P =J(x) (рис. I).

Если давление в системе оказывается значительно выше предельного вакуума насоса и после перекрытия крана практически не меняется (прямая а), то это значит, что установка не может быть откачана из-за неисправности насоса. Изменение давления в соответствии с кривой (б) свидетельствует о наличии в системе источников газовыделения, так как с некоторого момента давление в системе перестает изменяться благодаря установлению нового равновесия между выделением и поглощением стенками газов или паров. Если давление в системе, откачанной до Р

Неисправность насосов — случай достаточно редкий. Значительно чаще препятствует получению вакуума загрязнение системы (газовыделение) или ее негерметичность. Однако практически редко приходится иметь дело с натеканием или газовыделением в чистом виде и получать приведенные выше характеристики. Чаще всего оба явления накладываются друг на друга, и необходимо определить, какое из них основное. Общая характеристика изменения давления в вакуумной системе обычно имеет вид, показанный на рис. 2.

Снятие зависимостей, характеризующих изменение давления в вакуумной системе после отделения от нее насоса, операция громоздкая и не всегда доступная. Поэтому целесообразно остановиться на некоторых приемах выяснения причины неисправной работы вакуумной системы.

Определение причины повышенного давления при исправно работающем насосе может быть легко произведено при помощи манометрической лампы, подсоединенной к системе через охлажденную ловушку. Если система «газит», то залив жидкого азота в ловушку вызывает резкое изменение показаний манометра, соответствующее уменьшению давления. Это объясняется тем, что подавляющее большинство компонентов смеси, выделяемой стенками деталей вакуумных систем, конденсируются при температуре жидкого азота. В случае наличия течей показание манометра практически не изменится, так как в систему из атмосферы натекают в основном неконденсируемые при этих условиях газы.

Наибольшую чувствительность описанный прием имеет в области сравнительно высокого вакуума при использовании в качестве индикатора ионизационного или магнитного электроразрядного манометра.

Если в системе достигнуто давление (1-5)10-3 мм рт. ст. и в ней есть стеклянные детали, тогда для определения причины повышенного давления по свечению разряда можно воспользоваться трансформатором Тесла. Для наличия в системе воздуха характерно лилово-красное свечение. Работа с трансформатором Тесла будет описана ниже.

При газовыделении, как основной причине повышенного давления в процессе откачки происходит очень медленное понижение давления вследствие обезгаживания, не наблюдаемое в случае негерметичности. В системе, изолированной на длительное время, ухудшение давления до атмосферного (характерный «хлюпающий» звук механического насоса при включении) свидетельствует, как правило, о ее негерметичности.

Газовыделение.

Истинное газовыделение обуславливается свойством твердых тел удерживать в своей толще и на поверхности молекулы паров и газов и медленно выделять их в процессе откачки. Интенсивность газовыделения зависит от температуры вакуумных деталей, их размеров, качества обработки поверхностей, физических и химических свойств материалов. В связи с этим весьма серьезную роль играет правильный выбор материалов для изготовления вакуумных систем и технологии их обработки. Однако не менее важным является вопрос чистоты вакуумных деталей, их поверхностного загрязнения. Строгое соблюдение вакуумной гигиены, т.е. предельная чистота собираемых деталей, тщательная осушка их после промывки — правило работы вакуумщика.

Герметичность — это непроницаемость стенок, ограничивающих объем, для газов и жидкостей. Часто о степени герметичности судят по повышению давления в объеме, изолированном от откачки. Однако только по скорости изменения давления нельзя дать количественную оценку степени герметичности, т. к. равные количества газа в откачанных сосудах различного объема вызовут различное нарастание давления. Поэтому герметичность должна характеризоваться количеством газа, проникающего в систему в единицу времени, т.е. произведением объема, занимаемого газом, на изменение в нем давления в единицу времени после прекращения откачки. Это можно выразить формулой :

где V — изолированный от откачки объем; ΔΡ — изменение в нем давления за время Δτ; В — величина натекания, измеряемая в единицах [м мм рт. ст./с] или [м Па/с].
Газ проникает внутрь системы через места нарушения герметичности, называемые течами. Натекание, характеризующее общую герметичность системы, определяется прониканием газа через все имеющиеся в объеме течи.

Общая характеристика методов течеискания
Наиболее общая характеристика различных современных течеискателей заключается в их способности избирательно реагировать на то или иное вещество, носящее название пробного. Процесс поиска течи заключается в увлечении течеискателем пробного вещества, проникающего через течь, и его реакции на это вещество. Чем выше избирательная способность прибора, чем резче его реакция на пробное вещество, тем больше оказывается чувствительность течеискателя. В свою очередь реакция прибора на проникание сквозь течь пробного вещества тем резче, чем сильнее это вещество отличается от воздуха по электрическим, тепловым или другим свойствам. Поэтому в каждом отдельном случае важно правильно сочетать принцип, положенный в основу аппаратуры для обнаружения течей, и пробное вещество к нему.

Обнаружение течей при избыточном давлении
Метод опрессовки применяется для испытаний изделий, в которых нельзя или нецелесообразно создавать разрежение. В этом случае в изделии создается избыточное давление пробного газа и фиксируется проникновение его на наружную поверхность с помощью целого ряда течеискателей.
Кроме того, учитывая размеры и конфигурацию исследуемой на течь вакуумной установки, возможно погружение ее в жидкость или смачивание поверхности мыльным раствором. В обоих случаях образование пузырьков свидетельствует об истечении газа, а также позволяет оценить величину течи по скорости образования и величине пузырей. Чувствительность метода к течам может быть несколько повышена применением для опрессовки газов с меньшей, чем у воздуха вязкостью. Примерно вдвое большую чувствительность дает применение водорода. Применение гелия при опрессовке выигрыша не дает, поскольку вязкость его даже несколько превышает вязкость воздуха, а молекулярный вес здесь роли не играет.

Обнаружение течей при пониженном давлении
Метод высокочастотного разряда. Метод высокочастотного разряда применим для определения степени разрежения и обнаружения течей в стеклянных вакуумных приборах и установках, а также в металлических системах при наличии в них стеклянных деталей или при установке специального стеклянного разрядника.
На методе высокочастотного разряда основана работа искрового течеискателя, который конструктивно выполнен в виде небольшого блока с выносным ВЧ электродом (трансформатор Тесла).
В откачанном объеме, отделенном от окружающего пространства стеклянными стенками, может быть возбужден безэлектродный высокочастотный разряд, характер которого определяется степенью достигнутого в объеме разрежения. При давлении в объеме, близком к атмосферному, приближение к стеклу электрода высокочастотного трансформатора не сопровождается никакими внешними эффектами. В диапазоне давлений от 10 до 10-2 мм рт. ст. возникает разряд, сопровождающийся интенсивным свечением, исчезающим по мере улучшения вакуума. При давлении в объеме ниже 5 10-2 мм рт. ст. разряд проявляется в беспорядочном пучке искр, бьющих в стекло с электрода высокочастотного трансформатора. Место течи на гладкой поверхности стеклянной установки или в стеклянных спаях можно обнаружить передвижением вдоль них острия электрода. Приближение электрода на расстояние порядка 1 см к течи сопровождается формированием разряда в тонкий ярко-белый искровой пучок, направленный своим концом точно на место нахождения течи.

Следует иметь в виду, что искра, бьющая с острия электрода в течение длительного времени в одно и то же место стекла, может пробить его и образовать новую течь.

Люминесцентный метод. Люминесцентный метод в отличие от большинства других методов связан с непосредственным обнаружением жидкого пробного вещества и широко применяется для испытания на герметичность малогабаритных открытых сосудов, откачка или опрессовка которых затруднена или просто невозможна.
Испытуемый на герметичность сосуд целиком или только подозрительной по натеканию частью помещается в раствор люминофора в органической жидкости (трихлорэтилене или четыреххлористом углероде) так, чтобы он не попал во внутреннюю полость или на противоположную поверхность стенки, которые по окончании выдержки обследуют в ультрафиолетовых лучах.

Если в погруженном сосуде имеется течь, то под действием капиллярных сил между стенками течи и раствором последний втягивается внутрь течи и рано или поздно проходит по всей длине на противоположную сторону течи, где по мере испарения растворителя накапливается подсохший люминофор.
При облучении испытуемого сосуда ультрафиолетовыми лучами светящийся люминофор укажет место нахождения течи.
Люминофор — люмоген — дает желтое или красное свечение, которое легко отличить от ложных сигналов зеленоватого свечения, возникающего от воздушных пузырьков стекле, или голубого свечения жировых поверхностных загрязнений.
Преимуществами этого метода являются отсутствие необходимости в откачке испытуемых сосудов и его относительно высокая чувствительность, которая ограничивается лишь допустимой для данного случая длительностью выдержки испытуемого сосуда в растворе до появления свечения.

Метод обдува в основном применяется для испытаний вакуумных систем с собственными средствами откачки и элементов вакуумных систем. В этом случае на наружную поверхность изделия подается пробный газ. Во внутренней полости изделия создается разрежение и фиксируется проникновение в нее пробного газа.
Помимо специализированных течеискателей для регистрации пробного газа можно использовать имеющиеся в системе манометрические датчики или использовать эффект изменения цвета свечения тлеющего разряда:

Манометрический способ. В ходе испытаний на герметичность манометры широко применяются для определения общего натекания в объеме по изменению в них давления. Однако манометры могут использоваться и непосредственно как течеискатели, позволяющие устанавливать места нарушения герметичности и оценивать величину течей.
Практически каждая современная вакуумная система содержит, по крайней мере, один из наиболее распространенных манометров — ионизационный, тепловой или магнитный электроразрядный. Каждый из них может быть использован для поиска течей.
Отыскание течей с помощью манометра сводится к следующему. Подозреваемое в натекании место обдувают пробным газом или опрыскивают жидким пробным веществом. Изменение показаний манометра индицируют течь.
Механизм происходящих при этом явлений существенно различается для случаев работы с газообразными или жидкими пробными веществами. Остановимся на жидкостях, так как они позволяют получить значительно более высокую эффективность поиска.

Основной эффект, определяющий аномально высокую чувствительность манометров к жидким пробным веществам, заключается в резком увеличении количества протекающего через течь вещества при замене воздуха пробной жидкостью.
Изменение показаний манометров при перекрытии течи пробным жидким веществом носит следующий характер. Сначала отсчет давления уменьшается — поступление воздуха через течь прекратилось, а фронт жидкости еще не успел пройти по каналу течи. Последующее резкое увеличение давления сигнализирует о попадании жидкости в откачанный объем.
Помимо описанного основного эффекта, при работе с жидким пробным веществом возможен побочный эффект — уменьшение давления в системе вследствие засорения течи случайными твердыми частицами, взвешенными в жидкости или самой жидкостью.

Способ тлеющего разряда. В разрядной трубке, присоединенной к исследуемой на течь вакуумной установке, вызывают тлеющий разряд газа. Если в установке имеются следы воздуха, то свечение обычно имеет пурпурно-белый свет. Если к месту предполагаемой течи прикоснуться ватой, увлажненной, например, спиртом или ацетоном, или распылить спирт или ацетон (с помощью пульверизатора, шприца) вблизи этого места, то можно заметить изменение цвета свечения внутри установки вследствие проникновения паров пробного вещества через щель.
Недостаток данного способа состоит в том, что проникновение жидкости через незначительные течи происходит очень медленно и изменение цвета свечения может произойти с запозданием, когда проверяется на герметичность уже другое место установки, что может ввести в заблуждение наблюдателя.

Типы течеискателей
В технике высокого вакуума различают течеискатели по способу регистрации течи:

  1. течеискатель с палладиевым барьером;
  2. галоидный течеискатель;
  3. масс-спектрометрический течеискатель.

Течеискатель с палладиевым барьером.

Данный метод основан на том факте, что палладий является проницаемым только для водорода, причем эта проницаемость быстро возрастает с повышением температуры палладия.
Известно, что ионизационным манометром можно пользоваться для обнаружения течей только при условии, что давление в системе меньше 10-3 мм рт. ст. Это ограничение отпадает, если воспользоваться схемой, представленной на рис. 3.
Датчик ионизационного манометра 1 откачивается через свою откачную трубку. Испытываемый на течь объем присоединяется к трубке 2. Между ионизационным манометрам и испытываемым объемом непосредственно сообщения нет. Разделительная стенка частично состоит из палладиевой трубки 3, которую можно нагреть спиральным подогревателем 4 до 800 °С. Испытываемые на течь места обдуваются водородом. Последний проникает через течь в откачиваемый объем, частично диффундирует через нагретую палладиевую стенку и повышает давление в датчике ионизационного

манометра. Проникший в объем 1 водород можно снова откачать через палладиевую стенку.

При работе с палладиевым течеискателем могут возникнуть следующие трудности:

  1. вследствие разложения углеводородов, а также водяного пара на горячей палладиевой стенке образуется свободный водород, который может дать ложный сигнал о течи. С этой трудностью можно справиться, используя охлаждаемую ловушку.
  2. на поверхности палладия возможно образование слоя адсорбированного кислорода, препятствующего диффузии водорода, и, следовательно, снижающего чувствительность манометрической лампы.

Галоидный течеискатель.

Платина, накаленная до температуры 800-900 °С, дает заметную эмиссию положительных ионов, которая резко возрастает в присутствии в атмосфере воздуха газов, содержащих галогены. Это дает возможность обнаруживать небольшие утечки галогенсодержащего газа, создающее местное повышение концентрации галогенов.
Чувствительный элемент галоидного течеискателя представляет собой платиновый диод с навитым на керамическую трубку анодом прямого накала. Эмитируемые анодом ионы воспринимаются вторым электродом-коллектором, соединенным с усилителем постоянного тока. Стрелочный прибор на выходе усилителя регистрирует увеличение ионного тока при попадании галогенов в межэлектродное пространство чувствительного элемента. Такой диод может работать как при атмосферном давлении, так и вакууме.
В первом случае диод является датчиком атмосферного галоидного течеискателя, во втором случае — вакуумного галоидного течеискателя. С атмосферным галоидным течеискателем поиски течи ведут методом опрессовки изделий газом, содержащим галогены. С помощью вакуумного галоидного течеискателя поиски ведутся таким же методом, как и гелиевым течеискателем, с применением фреона или другого галогеносодержащего пробного вещества.

Масс-спектрометрический течеискатель.

Масс- спектрометрический течеискатель — это относительно простой газоанализатор, настроенный, как правило, на регистрацию содержания одного пробного газа в газовой смеси. В большинстве случаев пробным газом служит гелий, который, будучи химически инертным газом, совершенно безвреден и безопасен в работе. Благодаря малому содержания гелия в атмосферном воздухе (всего 1/200 000 часть) и в газах, выделяемых внутренними стенками вакуумной системы, фон, на котором регистрируют сигнал, невелик, что обеспечивает высокую чувствительность течеискателя. Малая молекулярная масса гелия (массовое число 4) позволяет не только создать малогабаритную и простую конструкцию масс- спектрометрической камеры течеискателя, но и обеспечивает эффективное проникновение пробного вещества через течи. Кроме того, пик однократно ионизированного атома гелия (отношение массы к заряду иона m/е = 4) в спектре масс практически невозможно спутать с пиком какого-либо другого ионизированного атома или молекулы.

Масс-спектрометрический анализ сводится к следующим процессам, происходящим в условиях высокого вакуума:

  1. превращение анализируемых молекул в положительные ионы с зарядом е;
  2. создание моноэнергетического ионного пучка посредством ускорения ионов продольным электрическим полей;
  3. разложение ионного пучка на компоненты по значениям m/е, где m — масса заряженной частицы;
  4. регистрация и измерения интенсивности выделенного ионного луча с определенным отношением m/е.

Эти процессы осуществляются в трех основных узлах масс-спектрометра (рис. 4). В ионном источнике происходит ионизация газа и формирование ионного пучка, который в анализаторе разделяется по массам. Выделенный пучок ионов с определенным m/е воспринимается регистрирующим устройством, измеряющим его интенсивность.

Цель данной работы — ознакомление с методами течеискания, работы с течеискателями и определение мест натекания в вакуумных системах.
Варианты выполнения работы

  1. Определение мест натекания методами тлеющего и высокочастотного разряда.
  2. Определение мест натекания с помощью галоидного течеискателя ГТИ-6.
  3. Определение мест натекания с помощью передвижного гелиевого течеискателяПТИ-10.

Определение мест натекания методами тлеющего и высокочастотного разряда
В ходе работы с помощью метода тлеющего разряда определить наличие течей в испытуемой установке, используя в качестве пробной жидкости ацетон. Методом высокочастотного разряда уточнить места натекания в системе.
Определение мест натекания с помощью галоидного течеискателя ГТИ-6
Течеискатель ГТИ-6 предназначен для определения течей в обследуемых на герметичность системах путем опрессовки. Течеискатель состоит из двух основных элементов:

  1. регистрирующего блока ГТИ-6 с индикацией нарушения герметичности стрелочным прибором и звуковой индикацией;
  2. выносного щупа в форме пистолета со световой индикацией, соединенный с регистрирующим блоком кабелем.

Внешний вид галоидного течеискателя представлен на рис. 5.

В испытуемую систему вводится несколько капель галогенсодержащей жидкости (например, СС14) и нагнетается воздух до давления порядка 2 атм. При поднесении щупа к подозреваемым местам испытуемой системы, истекающий воздух, содержащий галогены, протягивается с помощью вентилятора через датчик. При наличии течи наблюдаются отклонение стрелки прибора и увеличение частоты звука.
Включение течеискателя следует производить в помещении, имеющем хорошую вытяжную вентиляцию.

Перед началом работы

  1. Ручки переменных резисторов установить в крайнее левое положение.
  2. Тумблеры должны быть в нижнем (выключенном) положении.
  3. Переключатель шкал — в положении «1».
  4. Включить тумблер «Сеть» на передней панели, при этом должно светиться сигнальное табло и работать двигатель вентиляционного устройства выносного щупа. Если двигатель не работает, надо немедленно выключить течеискатель.
  5. Прогреть регистрирующий блок в течение 15 минут.
  6. Проверить балансировку усилителя постоянного тока (УПТ), для чего перевести переключатель шкал в положение «4». Стрелка прибора должна находиться в нулевом положении. При отклонении стрелки от нулевого положения произвести ее установку на нуль с помощью потенциометра «корректор нуля УПТ’ на задней панели регистрирующего блока и вернуть переключатель шкал в положение «1».

Предварительная регулировка течеискателя

  1. Для разогрева эмиттера датчика до рабочей температуры необходимо:
  2. установить риску потенциометра «регулировка тока накала» в положение между индексами 8 и 9, при этом стрелка на приборе должна находиться между значениями 80 и 90;
  3. контролировать в течение 15 минут изменение показаний стрелочного прибора, при необходимости с помощью регулировки тока накала возвращать стрелку между значениями 80 и 90.

Свидетельством установления рабочей температуры эмиттера датчика служит отсутствие дрейфа показаний стрелочного прибора. Потенциометром «регулировка тока накала» установить начальный ток датчика 20-50% на шкале «2».

  1. Если течеискатель включается впервые или после длительного хранения, необходимо увеличить время прогрева.
  2. Не рекомендуется работать при мощности накала большей, чем необходимо для обеспечения заданной чувствительности, так как за счет резкого возрастания чувствительности датчика могут наблюдаться колебания стрелки выходного прибора на шкале «2».
  3. Включить тумблер «компенсация начального тока» и потенциометром «компенсация начального тока» снизить начальный ток до нуля.
  4. Перевести переключатель шкал в положение «3» и также скомпенсировать начальный ток.
  5. При работе со световой и акустической индикацией следует установить потенциометр «громкость» — в среднее положение.
  6. Течеискатель готов к работе.

Оценка чувствительности течеискателя

Оценка чувствительности течеискателя с выносным щупом осуществляется с помощью галоидной течи «Галот-1».
Для приведения галоидной течи в рабочее состояние необходимо установить насадку в соответствии с предполагаемой чувствительностью течеискателя, после чего дается выдержка 20-30 минут для установления равновесного потока.
Выносной щуп, подготовленного к работе течеискателя, подносится к выходному отверстию течи с выбранной насадкой так, чтобы наконечник щупа вошел в направляющие течи. Отсчет фиксируется по стрелочному прибору регистрирующего блока.
При насадке 0,3 мм отсчет должен быть не менее 20% шкалы «3». После этого определяется цена деления шкалы прибора регистрирующего блока течеискателя.

  1. Установить риску потенциометра «регулировка тока накала» в крайнее левое положение;
  2. Установить переключатель шкал в положение 1;
  3. Выключить тумблер «компенсация начального тока»;
  4. Выключить тумблер «Сеть».

Отличаясь от других средств обнаружения мест натекания высокой чувствительностью, гелиевые течеискатели широко используются при наладке высоко- и сверхвысоковакуумных установок. Внешний вид передвижного гелиевого течеискателя ПТИ-10 представлен на рис. 6.

Вакуумная система течеискателя состоит из механического и паромасляного насосов с воздушным охлаждением, охлаждаемой жидким азотом ловушки, вентилей с ручным и электромагнитным приводами и манометрических преобразователей.

Перед началом работы

Приступая к работе с течеискателем необходимо убедиться, что все переключатели, тумблеры и клапаны на панелях управления выключены или закрыты.

Включение течеискателя

  1. Повернуть тумблер «Сеть» («ON») на верхней панели течеискателя, при этом должен включиться форвакуумный насос.
  2. Нажатием на кнопку «Evacuation», открыть электромагнитный вентиль «Откачка паромасляного насоса» (Steam — oil pump — evacuation).
  3. Открыть вентиль «Дросселирующий кран» (Pump — out throttling), находящийся с правого бока течеискателя.
  4. После достижения необходимого разрежения в форвакуумной линии (5 10-2 мм рт. ст.) включить нагреватель паромасляного насоса. Тумблер «Включение нагревателя насоса» (on — heater) переключить в положение «ON».
  5. Через 25-30 минут периодическим нажатием (раз в 2 — 3 мин.) на кнопку «Разблокировка» (Unlocking) проверить, установилось ли в системе течеискателя требуемый вакуум (
  6. Залить жидкий азот в ловушку.
  7. Включить катод ионного источника. Для этого тумблер «Измерение» (Measurement) поставить в положение «Ток эмиссии» (Emission current), а переключатель «Ток эмиссии» (Emission current) в положение «5 мА».
  8. Тумблер «Измерение» переключить в положение «Ускоряющее напряжение» (Accelerating voltage) и убедиться в наличие напряжения по прибору на нижней панели. Ускоряющее напряжение должно находиться в пределах 300 — 400 В.
  9. Произвести настройку течеискателя на пик атмосферного гелия.
  10. Подсоединить с помощью шланга испытуемую систему на натекание к вентилю 1, как показано на рис. 8, и произвести поиск течей, наблюдая по стрелочному прибору за ионным током и слушая сигнал звукового индикатора (частота сирены при попадании гелия в камеру уменьшается от высоких до низких тонов.

Внимание! Поиск течей всегда нужно начинать с самой верхней части испытуемого объема, т.к. гелий, обтекая исследуемый узел или установку снизу вверх, может попасть в течь, которая расположена на верху, и вызвать сигнал, хотя струя гелия была направлена на место, которое находится ниже течи.

Выключение течеискателя

  1. Закрыть вентиль 1.
  2. Выключить катод ионного источника, закрыть вентиль «Дросселирующая откачка» и выключить нагреватель паромасляного насоса.
  3. Через 25-30 минут (необходимых для охлаждения нагревателя) выключить механический насос и установку тумблером «Сеть».
  1. Приемы выяснения причины неисправной работы вакуумной установки.
  2. Общая характеристика поведения вакуумной системы.
  3. Понятия герметичности, натекания, величины течи.
  4. Методы обнаружения течей.
  5. Чем обусловлен выбор гелия в качестве пробного газа для определения мест натекания.

Курс обучения «Основы течеискания и вакуумной техники» 2-4 апреля 2024 года

Основы течеискания и вакуумной техники

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и ООО «ВАКТРОН» приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники».

Программа является подготовительным курсом к аттестации персонала в области контроля герметичности по требованиям РОСТЕХНАДЗОР (СДАНК-01-2020, СДАНК-02-2020) и РОСАТОМ ГОСТ Р 50.05.01-2018, ГОСТ Р 50.05.11-2018. По результатам обучения сотрудник получает удостоверение о повышении квалификации государственного образца по университетской программе дополнительного профессионального образования. Курс проводится согласно лицензии на образовательную деятельность №1103.

Проводимый экзаменационный контроль может быть учтен аттестационным центром для выдачи удостоверения на право подготовки заключений о контроле герметичности. Курс на практике подготовит к квалифицированной эксплуатации и обслуживанию современного вакуумного оборудования: масс-спектромерических течеискателей, вакуумных насосов,вакуумметров, а также к проведению работ по вакуумированию и испытаний на герметичность.

Занятия будут проходить в очной форме в отеле «Новый Петергоф», Санкт-Петербург, Петергоф, Санкт-Петербургский проспект, 34. Мест в группе – 15. Необходима предварительная регистрация. Регистрация участников: 8 (812) 989-04-49 доб.2, Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.

Обнаружение и устранение натекания воздуха в вакуумные системы

При наладке и эксплуатации любой разборной вакуумной системы очень важно обнаружить участки, недостаточно герметичные и вызывающие натекание воздуха в рабочую камеру. Наиболее часто это происходит в зонах сопряжения разборных соединений.

Скорость натекания Aq характеризуется количеством воздуха, проникающего в вакуумную систему в единицу времени (например, секунду) и вызывающего повышение остаточного давления. Например, средняя скорость натекания в камере объемом в 1 л при повышении давления в ней за время t сек. с Pнач, в начале измерения до Pкон в конце измерения определяется из равенства

В камере объемом V л при тех же значениях начального и конечного давлений Рнач и Pкон и той же продолжительности испытания t сек. натекание Qн пропорционально объему камеры

В установках для высокотемпературной металлографии во многих случаях допустимо натекание Лq со скоростью не более 10в-5 мм рт. ст. л/сек (или Аq = 10в-2 мкл/сек). Такое натекание не вызывает видимого окисления поверхности большинства изучаемых металлических образцов.

Следует обратить внимание на то обстоятельство, что при достаточно мощной системе откачки в вакуумной камере может быть получено низкое остаточное давление, например, 5*10в-6 мм рт. ст., хотя натекание в систему будет значительно превышать допустимое значение. При этом исследуемые образцы будут подвергаться взаимодействию с протекающим через вакуумную камеру потоком частиц воздуха и на поверхности образцов будет возникать пленка окислов. Поэтому весьма важной является тщательная проверка вакуумных систем на натекание и устранение неплотностей, вызывающих это нежелательное явление.

Для определения скорости натекания вакуумную систему при помощи крана или вентиля отсоединяют от насоса. При этом фиксируют начальное давление P1 и его изменение по времени.

На рис. 40 приведен график, характеризующий изменение остаточного давления в зависимости от состояния системы.

Обнаружение и устранение натекания воздуха в вакуумные системы

Если давление P1 практически остается неизменным в течение первых 10—20 мин. (прямая 1, параллельная оси времени), то это означает, что натекание в систему ничтожно мало. Если давление в системе возрастает с Р1 до P2 и дальше не повышается (кривая 2), то это свидетельствует о наличии в ней источника, выделяющего пары, которые заполняют систему и обладают давлением P2. Наконец, когда остаточное давление монотонно повышается пропорционально времени (кривая 3), это значит, что в систему натекает атмосферный воздух. Если за время t сек. давление (в мм рт. ст.) в системе возросло с P1 до P3, то скорость натекания (при объеме вакуумной системы V л) можно определить по формуле (30).

При указанном выше допустимом значении натекания Aq = 1*10в-5 мм рт. ст. л/сек для обеспечения требуемого разрежения необходимо, чтобы скорость откачки насоса S была примерно в 10 раз больше отношения натекания к остаточному давлению P:

Например, при требуемом разрежении P=1*10в-5 мм рт. ст. в камере объемом V л и допустимой скорости натекания Аq=1*10в-5 мм рт. ст. л/сек скорость откачки S должна быть

т. е. на каждый литр объема камеры скорость откачки должна составлять не менее 10 л/сек. При объеме камеры, например, V = 10 л, требуется насосная система, обеспечивающая скорость откачки не менее S > 100 л/сек.

При испытании вакуумной системы на натекание определяют давление воздуха, проникающего в установку через неплотности соединений. При этом необходимо устранять влияние паров на показания электрических вакуумметров путем их конденсации вымораживающей ловушкой, устанавливаемой в патрубке, соединяющем систему с манометрическими лампами.

Для сокращения «пускового» периода при изготовлении установки все детали вакуумной системы следует до сборки тщательно проверить на натекание и герметичность. Отдельно проверяют трубопровод, вентили, вакуумную рабочую камеру и другие элементы системы.

Рекомендуется предварительно контролировать работу предназначенных к установке насосов (ротационного и пароструйного).

В тех случаях, когда несмотря на принятые меры, натекание в систему все же превышает допустимое, приходится определять зоны натекания и устранять их.

Для обнаружения мест натекания в металлических и стеклянных элементах вакуумных систем применяются различные способы.

Одним из самых простых способов нахождения течи является метод «мыльной пленки». В испытываемый узел или в собранную вакуумную систему подается воздух под давлением 2—3 ат. Предварительно должны быть приняты меры по технике безопасности проведения испытаний. На отдельные подозрительные по возможности натекания участки наносится кисточкой слой мыльной пены. В зонах, через которые из испытываемой системы просачивается наружу воздух, вздуваются мыльные пузыри. Эта методика позволяет обнаруживать участки, создающие натекание до 0,04 мм рт. ст. л/сек.

Более совершенным, неоднократно проверенным в нашей практике является способ определения течи при помощи термопарного вакуумметра, работающего на лампе типа ЛТ-2. На рис. 41 дана принципиальная схема, иллюстрирующая описываемый метод проверки собранной вакуумной системы.

Вакуумная камера 1 связана через патрубок 2, пароструйный насос 3 и кран 4 с ротационным насосом 5. Тройник 6 служит для подсоединения крана 7, через который внутрь вакуумной системы после окончания работы установки подается атмосферный воздух.

Термопарную лампу 8 типа ЛT-2 соединяют с измерительным устройством 9 (аналогичным приведенному на рис. 24) или подключают к вакуумметру типа УТВ-49, ВТ-2 или ВИТ-1. Патрубок лампы 8 припаивают к стеклянному выводу корпуса вымораживающей ловушки, соединяя ее трубкой 11 с рабочей камерой. Для вымораживания паров, которые могут вызвать искажения в величине измеряемого остаточного давления, корпус 10 помещают в сосуд Дьюара 12, наполненный жидким азотом 13.

Опрыскивая из пульверизатора (или смазывая ваткой) исследуемые участки системы такими летучими углеводородами, как ацетон, бензол или метиловый спирт, и одновременно наблюдая за показаниями вакуумметра, ведут поиски течи. Пары этих жидкостей, проникая внутрь системы через зону натекания, попадают также в баллон лампы типа ЛT-2. Поскольку теплопроводность паров углеводородов и воздуха различна, показания вакуумметра при этом заметно изменяются.

Очень важно правильно присоединить термопарную лампу к вакуумной системе: патрубок ЛТ-2 должен находиться в непосредственной близости к зоне, подвергаемой опрыскиванию. Тогда пары жидкости, проникающие внутрь вакуумной системы, немедленно будут попадать в баллон лампы. Поэтому при поисках течи к сложной вакуумной системе нередко присоединяют одновременно две или три лампы типа ЛТ-2, подключая их к вакуумметрам.

Остаточное давление в вакуумной системе в процессе поисков течи должно составлять 10в-1—10в-3 рт. ст., так как только в этом диапазоне разрежений могут действовать лампы типа ЛТ-2. Насос 5 должен непрерывно работать.

Термопарным методом можно определять нарушения герметичности в вакуумной системе, вызывающие натекание со скоростью от 10в-1 до 10 мм рт. ст. л/сек.

Для поисков течи в разборных металлических вакуумных системах разработаны и применяются различные более совершенные, но и более сложные методы. Некоторые из них основаны на использовании ионизационных манометров и позволяют обнаруживать крайне незначительные натекания — от 10в-3 до 10в-5 мм рт. ст. л/сек.

Особого внимания заслуживают специальные приборы — течеискатели, работающие по принципу масс-спектрометров. Они позволяют обнаруживать натекания до 5*10 мк рт. ст. л/сек по попаданию гелия в систему через имеющиеся неплотности.

Выпускаемый в бывш. СССР гелиевый масс-спектрометрический течеискатель типа ПТИ-4А работает следующим образом. Пучок положительных ионов в камере масс спектрометра, ускоренный разностью потенциалов v, перемещается в магнитном поле напряженностью Н; при этом образующие пучок ионы «сортируются» по величине

где m — масса иона, а е — его заряд.

Этот процесс «сортировки» становится возможным потому, что в магнитном поле заряженные частицы газа (его ионы) движутся по круговым траекториям, радиус которых R (см) для любого однозарядного иона определяется соотношением

где v — разность потенциалов, в;

H — напряженность поля, эрст.

Для данного радиуса кривизны ионы, достигающие коллектора масс спектрометра, могут быть «рассортированы» путем изменения величины ускоряющего потенциала. Величина ионных токов, соответствующих различным ионам, зависит от количества данных ионов в ионном пучке, которое в свою очередь определяется количеством попадающих в масс спектрометр молекул данного газа, из которых образуются его ионы На рис. 42 приведена скелетная схема масс-спектрометрического течеискателя ПТИ-4A 1, настроенного на измерение парциального давления гелия в исследуемой вакуумной камере 2, связанной патрубком 3 с системой откачки 4. Объект испытания присоединяют к вакуумной системе течеискателя через дроссельный кран 5. позволяющий регулировать количество газа, попадающего из контролируемой системы в масс спектрометр 6. Масс-спектрометр выполнен в виде металлической камеры, помещенной в магнитное поле H напряженностью около 1300—1400 эрст, создаваемое постоянными магнитами. В камере масс-спектрометра с помощью пароструйного насоса 7 и ротационного насоса 8 поддерживается высокий вакуум. Для конденсации паров служит вымораживающая ловушка 9.

Из баллона 10 через шланг 11 с обдувателем 12 на конце подается тонкая струя гелия. Благодаря малой вязкости гелий проникает через самые незначительные неплотности в испытываемый объем и частично отсасывается в вакуумную систему масс-спектрометра. При этом масс-спектрометр настроен таким образом, что из выходящего из ионизатора 18 пучка ионов на коллектор ионов 14 могут попадать только ионы гелия.

С панели управления 15 подается питающее напряжение на стабилизированный выпрямитель 16, магнитный электроразрядный маке метр 17 и усилитель переменного тока 18.

Коллектор масс-спектрометра соединен с расположенной внутри его камеры сеткой электрометрической радиолампы типа 6Ж1Ж, которая является частью первого каскада усиления переменного тока. Возникающий в результате попадания ионов гелия в камеру масс-спектрометра ток проходит через сопротивление во входной цепи первого каскада усиления. Напряжение, падающее на этом сопротивлении, усиливается при помощи усилителя 18 и подается на звуковой индикатор — сирену 19, а также на выходной прибор 20 с пределами измерения тока 300 мка и 3 ма. Сирена 19 сигнализирует о появлении гелия в масс-спектрометре, а показания прибора 20 позволяют ориентировочно судить о величине натекания в испытываемой вакуумной системе.

При нормальной работе течеискатель ПТИ-4А реагирует только на попадание в контролируемый объект пробного газа, в данном случае гелия, несмотря на то, что в масс-спектрометре и в испытываемой аппаратуре есть и другие газы. Такая избирательность объясняется указанным выше разделением в магнитном поле ионного потока на ряд потоков, каждый из которых содержит ионы с одинаковой эффективной массой. Постепенно изменяя ускоряющее напряжение, можно направлять на коллектор потоки ионов, обладающих различными массами и контролировать, таким образом, весь спектр масс газов, имеющихся в исследуемой камере. Часть спектра, вызванная ионами с одинаковой массой, называется «пиком ионного тока» данной массы, например «пиком гелия».

Высокая чувствительность течеискателя ПТИ-4А, составляющая 5*10в-6 мк рт. ст. л/сек, обеспечивается малым содержанием гелия в атмосфере (около 5*10в-4) и отсутствием его среди газов, выделяемых стенками контролируемых камер вакуумных установок.

Величина «фона» (показания прибора, не зависящие от количества гелия) незначительна и позволяет выявлять малейшее нарастание концентрации гелия в вакуумной системе.

Благодаря малому атомному весу гелия упрощается конструкция масс-спектрометра, в котором он используется в качестве пробного газа, так как при этом радиус R движения потока ионов и напряженность магнитного поля Н, определяющие размеры и вес магнита, могут быть значительно уменьшены без снижения ускоряющего напряжения.

Кроме того, ценными качествами гелия являются инертность, благодаря чему его применение в течеискателях безопасно и безвредно, а также его сравнительно невысокая стоимость.

Алгоритм обнаружения течей в вакуумной камере

Во всех вакуумных камерах будет натекание воздуха с течением времени, в результате чего вакуум будет ухудшаться. Термин «скорость утечки» используется для определения того, насколько быстро воздух возвращается в эту вакуумную камеру. Конечно, воздух содержит в себе кислород, попадание которого при некоторых технологических процессах отрицательно отражается на качестве этих процессов. Воздух также содержит влагу, которая также является источником кислорода. К примеру, влага может стать проблемой на паяных металлических поверхностях, поскольку адсорбированная влажность часто очень трудно удаляется с поверхности металла (это может быть проблемой в алюминиевой вакуумной пайке).

Скорость натекания должна контролироваться до очень низких уровней, часто допускается натекание в диапазоне от 2 до 10 миллиторр в час, чтобы гарантировать хорошое протекание технологических процессов.

Поэтому одной из основных обязанностей персонала вакуумной установки является контроль натекания в вакуумной камере путем регулярного контроля скорости натекания, и если скорость натекания становится недопустимой, то необходимо найти источник утечки и устранить эту утечку.

Обычным способом обнаружения утечки в вакуумной камере является использование гелиевого течеискателя. Существует два метода, а именно метод гелиевого щупа или методом обдува. В методе гелиевого щупа вакуумная камера должна быть заполнена гелием, а щупом производился поиск течи. Это не работает для многих вакуумных камер, так как требуется, чтобы она была под давлением, а многие из них не способны выдерживать положительные давления.

Комплект для проведения течеискания

Типичный пистолет, используемый при течеискании

При методе гелиевого обдува происходит противоположное: вакуумная камера откачивается до рабочего вакуума, а затем гелий распыляется на все внешние стыки и соединения. Гелиевый течеискатель, который подключен к вакуумной камере, контролирует концентрацию гелия внутри. Для пайки я настоятельно рекомендую использовать только технологию гелиевого распыления.

Обнаружение утечки методом обдува.

Оборудование для этого метода состоит из переносного гелиевого течеискателя, в том числе баллон с гелием, регулятор потока газа и шланга с гелиевым пистолетом. Обратите внимание, что используемый масс-спектрометр — это тот, который обнаруживает только гелий.

Течеискатель Agilent

Фото типичного гелиевого течеискателя

Проще говоря, вакуумная камера откачивается до рабочего уровня вакуума. И она, очевидно, будет втягивать внешний воздух внутрь через любую небольшую течь, которая может присутствовать в любом из уплотнений, соединений и т. д. Гелий затем распыляется вокруг каждого из потенциальных мест утечек, обычно начиная с двери, поскольку она является наиболее распространенным источником течи. Когда крошечные атомы гелия сталкиваются с небольшой точкой, через которую воздух входит внутрь, газообразный гелий также быстро входит в вакуумную камеру в этой точке. В то время как оператор проверки герметичности медленно перемещает гелиевый пистолет вокруг каждого из фитингов, масс-спектрометр постоянно отбирает газ из вакуумной камеры через испытательное отверстие. Когда в него попадут какие-то атомы гелия, автоматически пройдёт сигнал тревоги.

Временная задержка между попаданием гелия внутрь и попаданием этого атома гелия в блок масс-спектрометра очень коротка и в зависимости от размера вакуумной печи обычно измеряется от долей секунды, до нескольких секунд.

Когда звучит сигнал тревоги, оператор течеискателя останавливается и очень медленно перемещает пистолет с гелием вокруг области уплотнения / прокладки, до тех пор, пока точное местонахождение течи не будет найдено.

После обнаружения течи персонал по техническому обслуживанию должен устранить эту утечку, заменив уплотнение, тщательно очистив область соединения между двумя соединениями и вставив новую прокладку. Если утечка обнаруживается в любом из других соединений, обслуживающий персонал просто уплотняет эту течь вакуум-герметиком.

Каталог вакуумного оборудования

  • ГЛАВНАЯ
  • О НАПРАВЛЕНИИ
  • КОНТАКТЫ
  • ПРОИЗВОДИТЕЛИ
  • СТАТЬИ
  • НАПРАВЛЕНИЯ
  • ВАКУУМНАЯ ОТКАЧКА

    Вакуумная откачка — это создание разреженной среды в замкнутой системе для реализации технологического процесса в условиях, исключающих или сводящих к минимуму воздействие газовой среды на его протекание, или создание разреженной среды для проведения экспериментальных исследований по изучению воздействия разреженной среды на механизмы и устройства, предназначенные для работы в вакууме.

    При напылении необходимо исключить вероятность столкновения молекул газа с молекулами напыляемого материала для устранения его рассеивания и снизить поток газа из окружающей среды на напыляемые поверхности с целью предотвращения загрязнения пленок напыляемого материала. В ускорительной технике взаимодействие пучка с остаточным газом ухудшает качество пучка и даже разрушает его. При изучении свойств поверхностей необходимо, чтобы очищенная от окисных и сорбированных слоев поверхность не «загрязнялась» в результате сорбции молекул остаточного газа в течение всего времени проведения исследования. Особое место в исследовании отрицательного воздействия вакуума (космического) занимают проблемы изучения работоспособности механизмов и устройств в открытом космическом пространстве (поведение материалов при трении, изменение различных механических, электрических, тепловых и других свойств материалов). Эти исследования проводятся в вакуумных камерах имитаторов космического пространства.

    Диапазон давлений, создаваемый в вакуумных камерах технологических, аналитических установок, вакуумных камерах имитаторов космического пространства и ускорителей, охватывает значения давлений от 10 5 до 10 -12 Па, что составляет 17 десятичныех порядков.

    Одной из характеристик разреженной среды в вакуумной камере является степень вакуума, предполагающая условное деление на интервалы давлений: низкий, средний, высокий и сверхвысокий.

    Низкий вакуум характеризуется давлением, когда длина свободного пути молекул меньше линейного размера вакуумной камеры, что, как правило, реализуется при давлении в диапазоне 10 5 …10 2 Па;
    − средний вакуум имеет место при давлении в диапазоне 100… 0,1 Па;
    − высокий вакуум характеризуется давлением, когда длина свободного пути молекул значительно превосходит характерный линейный размер и имеет место при давлении в диапазоне 0,1…10 -5 Па;
    − сверхвысокий вакуум характеризуется давлением, при котором время образования монослоя газа на ювенильной поверхности превышает 10 секунд, что происходит при давлении меньше 10 -5 Па.

    Широкий диапазон давлений технологических разреженных сред приводит к необходимости использования нескольких вакуумных насосов в составе одной вакуумной откачной системы, обеспечивающих получение заданнных параметров разреженной технологиеской среды и разнобразной вакуумметрической аппаратуры. Как правило, высоковакуумный насос нуждается в предварительной откачке до давления, с которого он может стартовать, а если этот насос газоперекачивающего действия, то для его работы в высоковакуумном режиме необходимо еще постоянно поддерживать соответствующее разрежение на его выхлопном патрубке.

    При использовании газоулавливающего высоковакуумного насоса, удаление основной массы газов от атмосферного давления до давления 0,005 ….0,01 мбар осуществлется вакуумным газоперекачивающим насосом предварительного разрежения, а высоковакуумная откачка газоулавливающим насосом осуществляется за счет реализации одного из способов сорбции газа. Давление в вакуумной камере устанавливается в результате действия ряда конкурирующих процессов. Это удаление газа насосом c одной стороны, и поступления фонового, газа с другой стороны. Фоновый газ состоит из натекания, газовыделения поверхностей камеры, а также технологического газовыделения, сопутствующего протекающему технологическому процессу. Исходя из особенностей реализуемого технологического процесса, для оптимального выбора параметров вакуумной системы обеспечивающей получение заданного давления, необходимо, чтобы:

    • суммарное натекания и газовыделения с поверхностей камеры было меньше технологического газовыделения в (10…100) раз;
    • проводимость коммуникаций между насосом и камерой была максимальной.

    Учитывая, что абсолютно герметичных систем не бывает [6], поток натекания необходимо лимитировать некоторой величиной, определяемой как «норма герметичности» Норма герметичности — наибольший суммарный расход вещества через течи герметизированного изделия, обеспечивающий его работоспособное состояние и установленный нормативно-технической документацией [1].

    В случае, если быстрота действия форвакуумного насоса обеспечивает режим работы высоковакуумного газоперекачивающего насоса, но не обеспечивает заданное время предварительной откачки камеры и с экономической точки зрения не целесообразно использовать для форвакуумной откачки насос с большей производительностью, целесообразно устанавливать дополнительный насос предварительной откачки.

    При откачке с атмосферы понижение давления происходит до момента, когда производительность насоса становится соизмеримой с фоновым потоком. Газовыделение уменьшается во времени по мере испарения источника. Натекание — величина постоянная. Поэтому, если вакуумная система имеет течи, потоки которых значительно превосходят потоки газовыделения, график понижения давления во времени характеризуется начальным линейным участком с быстрым выходом на горизонтальный линейный участок. Если в вакуумной системе фоновые потоки определяются в основном газовыделением, то динамика понижения давления во времени характеризуется кривой, которая затем, по мере понижения давления, плавно стремится к горизонтальной прямой. Учитывая, что часть потока, связанная с газовыделением, будет снижаться, будет также снижаться и давление в камере. Источники газовыделения вакуумной системы самые различные. Это _ остатки технологических жидкостей, используемые при изготовлении отдельных деталей, вода, сорбированная из атмосферы, пыль и т.п.

    Для выхода на режим высокого и сверхвысокого вакуума необходимо снижать газовыделение до минимума. В этом случае, лучше применять материалы с низкой упругостью пара и интенсифицировать процесс испарения источников газовыделения путем прогрева до 250…450 °С.

    Удельное газовыделение нержавеющей стали при откачке в течение 10-ти часов снижается на порядок (с 4,12х10 -4 до 4,12х10 -5 ) Па×м 3 /(м 2 ×с). В вакуумной камере объемом 0,5 м 3 характер изменения газовыделения за это время откачки будет уменьшаться по экспоненциальному закону (от 20 до 2)×10 -5 м 3 ×Па/с.

    При скорости откачки камеры равной 1 м 3 /с, давление в ней будет понижаться (с 20 до 2)×10 -5 Па также по экспоненциальному закону. После прогрева стенок камеры при температуре 420 °С удельное газовыделение снизится до 1,2×10 -8 Па×м 3 /(м 2 ×с) и соответственно, если скорость откачки сохранится равной 1 м 3 /с, предельное давление в камере установится на уровне 6×10 -9 Па.

    Чтобы оценить количественно долю газовых потоков, связанных с натеканием и газовыделением следует после выхода вакуумной системы на режим предельного вакуума перекрыть откачку и зафиксировать характер повышения давления. На рис. 1 представлены кривые характеризующие изменение давления в вакуумной камере при откачке (график a) и после перекрытия откачки (график в).

    Рис.1. Характер изменения давления в вакуумной камере при откачке и после перекрытия откачки.

    После выхода вакуумной системы на предельный вакуум осуществлено перекрытие ее откачки. Начальный этап повышения давления характеризуется криволинейным участком, на котором поток газовыделения Qg превосходит поток от течи Ql. По мере уменьшения потока газовыделения давление в камере (кривая б) будет определяться потоком натекания (линейный участок в). Для сокращения времени выхода давления на линейный участок, определяемый потоком газовыделения, на практике манометрический преобразователь отсоединяется от вакуумной системы вымораживающей азотной ловушкой, которая конденсирует на своих поверхностях пары воды и молекулы органического происхождения.

    Папко В.М., к.т.н., ученый секретарь АО «Интек Аналитика»

    СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
    1. ГОСТ 5197-85 Вакуумная техника. Термины и определения.
    2. Вакуумная техника: справочник / К.Е. Демихов, Ю.В. Панфилов, Н.К. Никулин и др.; под общей редакцией К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. 3-е изд., перераб. и доп. М.: Машиностроение, 2009. 590 с., ил.
    3. Трендельберг Э. Сверхвысокий вакуум. Под редакцией М.И. Меньшикова. Изд. «Мир», М 1966. 286 с.
    4. Розанов Л.Н. Вакуумная техника. Москва. Высшая школа. 1990 г. с 131-136.
    5. Глазков А.А., Саксаганский Г.Л. Вакуум электрофизических установок и комплексов. Москва. Энергоатомиздат. 1985 г.185 с.
    6. Ланис В.А., Левина Л.Е. Техника вакуумных испытаний. Государственное энергетическое издательство. Москва-Ленинград. 1963 г. 263 с.
    7. Черепнин Н.В. Основы очистки, обезгаживания и откачки в вакуумной технике. Изд. «Советское радио». 1967 г. 408 с.

    Добавить комментарий

    Ваш адрес email не будет опубликован. Обязательные поля помечены *